半導體工業的電子芯片是我國的大宗進口商品,我國的芯片行業發展比較緩慢,近期國家的政策也傾向于大力發展自主性的半導體芯片。在半導體行業,超純水不同于其他行業的超純水的要求,有極其嚴苛的水質要求。目前半導體行業的超純水技術也是主要由外國企業所掌握,所以半導體行業超純水制造技術是非常值得研究的項目。
超純水(Ultrapure water)又稱UP水,水中除了水分子外,幾乎沒有什么雜質,更沒有細菌、病毒、含氯二噁英等有機物,電阻率達到18 MΩ*cm(25 ℃)的水。超純水廣泛應用于工業制造業,食品醫療行業,以及實驗室用水中。根據不同行業的需求,具體的水質指標要求也不相同,其中半導體工業的要求最為嚴格,并且有電子級水的國家標準。
UP-200超純水液體粒子計數器采用普洛帝核心技術創新型的第八代雙激光窄光顆粒檢測傳感器,雙精準流量控制-精密計量柱塞泵和超精密流量電磁控制系統,可以對清洗劑、半導體、超純水、電子產品、平板玻璃、硅晶片等產品進行在線或離線顆粒監測和分析,目前是普洛帝分析測試集團向水質領域及微納米檢測領域的重要產品。
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